大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子形式的安全物质，或使有毒---转变成---无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。因其电离后产生的电子平均能量在10ev?，适当控制反应条件可以实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得十分快速。在---电场能量轰击下污染气体分子化学键被打断，转化为无污染的小分子。电离后的气体分子颗粒，分子团，可以通过等离子管壁吸附下来，成液体状从设备排泄口流出。氧分子电离后重新结合成高浓臭氧，有机气体在臭氧的强氧化作用下，生成---、水等小分子无污染成份。
有毒气体的处理:(一)操作人员在处理有毒气体时，必须佩戴防毒---、手套等与作业无关的劳动防护装备，禁止进入有毒气体处理区域。(二)直接向---排放少量有毒气体的，必须经---同意尽量远距离排放，并将管制出口产品的浓度稀释到允许浓度以下。(3)在处理有毒气体时，必须---吸附剂和吸附剂的有效性。燃烧气体:粘在容器或器具阀门上的粉末、石油、油脂和可燃物质必须从底部清洗，才能作为气体处理。(2)严禁将助燃气体和可燃气体就近放置在同一场所，防止发生事故。(3)燃烧气体处理周围应无火源、非可燃物质和性物质。
活性炭吸附脱附+催化燃烧设备工艺流程说明：（1）预处理阶段预处理采用填料式喷淋洗涤塔，喷淋液选择碱液酸性气体进行中和处理或者采用干式过滤器对粉尘进行过滤处理。（2活性炭吸附阶段经过前面的预处理后，废气通入后端的活性炭吸附/脱附塔进行吸附处理，vocs废气处理设备，通过活性炭微孔的有机气体吸附在活性炭表面，去除废气中的有机物，达到净化气体的作用。
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