当化学物质通过吸收能量(如热能、光子能量等)，可以使自身的化学性---得活跃甚至被裂解。当吸收的能量大于化学键键能，即可使得化学键断裂，形成游离的带有能量的原子或基团。当波段内的真空紫外线(波长范围内184。9nm-253。7nm)，促使有机废气物质通过吸收该波段的光子，而该波段的光子能量大于绝大多数的化学键键能，使得有机物质得以裂解;再通过裂解产生的臭氧将其氧化成简单、无害、稳定的物质，化工厂废气处理设备，如h2o和co2等。
有机废气处理装置过滤或除尘器:含尘气体进入除尘斗后，由于气流截面的突然膨胀和气流分布板的作用，在动力和惯性力的作用下，气流中的一部分粗颗粒沉降在除尘斗内;尘粒与细粒度和小密度进入除尘器，和灰尘沉积在过滤材料的表面通过布朗扩散和筛滤的联合行动，以净化气体进入空气清洁室，这是通过风机由排气管排出。工业废气处理设备是行业非常重要的一个方面，尤其是在工业发达的今天，任何企业几乎都会跟环境挂钩，需要处理废气的设备。
活性炭吸附脱附+催化燃烧设备工艺流程说明：（1）预处理阶段预处理采用填料式喷淋洗涤塔，喷淋液选择碱液酸性气体进行中和处理或者采用干式过滤器对粉尘进行过滤处理。（2活性炭吸附阶段经过前面的预处理后，废气通入后端的活性炭吸附/脱附塔进行吸附处理，通过活性炭微孔的有机气体吸附在活性炭表面，去除废气中的有机物，达到净化气体的作用。
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