大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子形式的安全物质，或使有毒---转变成---无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。因其电离后产生的电子平均能量在10ev?，适当控制反应条件可以实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得十分快速。在---电场能量轰击下污染气体分子化学键被打断，转化为无污染的小分子。电离后的气体分子颗粒，分子团，可以通过等离子管壁吸附下来，成液体状从设备排泄口流出。氧分子电离后重新结合成高浓臭氧，rto废气处理设备，有机气体在臭氧的强氧化作用下，生成---、水等小分子无污染成份。
活性炭吸附法1、处污原理活性炭吸附法由于前期投资较低，是目前应用广泛的vocs处理办法，是通过活性炭的自然吸附能力吸附vocs，当吸附饱和后，活性炭脱附再生或交给危废公司处理。2、实际应用情况运用活性炭吸附法进行vocs处理的公司对其设备的除污参数，基本上都会提到此类设备的除污效率达到90%以上，但在实际除污应用过程中，除污效率达到90%以上只是理论值。
在废气处理当中，通常使用多的活性炭是蜂窝活性炭。活性炭原料通过特殊工艺，制作成蜂窝状立方体，常见孔径从1mm-3mm，孔径越吸附表面积越大能力也越强，同时压力损失也会。相对于颗粒炭，柱状炭，蜂窝活性炭有着压损小，易脱附，不易堵塞的优点，目前在废气处理中被广泛使用，吸附箱体作为一个框架用于放置活性炭，在废气治理中，用的多的样式：立式罐吸附器，卧式罐吸附器。
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